한국기술교육대학교 뉴스

한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부에 재학중인 백승빈 (석사과정)과 김대희 (박사과정) 대학원생 (지도교수 : 김영철 교수)이 지난 6월 2일 서울대학교 엔지니어링 하우스에서 개최된 2011년 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회에서 “ Bis -diethylamoinosilane실리콘 전구체와 Si (001) 수산화기와의 반응 기구”라는 논문으로 우수 논문상을수상하였다.

이 논문은 실리콘 산화막 원자층 증착법에 사용되는 bis-diethlyaminosilane (SiH 2 [N(C 2 H 5)2 ] 2 ,BDEAS)전구체와 실리콘 표면과의 반응 매커니즘에 대한 연구이다.

김영철 교수는 “본 결과로부터 초기 설계 단계에서 전구체의 적절성을 미리 평가할 수 있기 때문에, 전구체 제조와 평가에 소요되는 비용과 시간을 줄일 수 있다”고 밝혔다.